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产品属性
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108 manual是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
l 操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
l 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪(选件)测定所镀膜的厚度。
l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和的镀膜效果。
l 可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
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