气体质量流量控制器，即称MassFlowController（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
　　
　　气体质量流量控制器
　　标准量程（N2）：0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM；
　　0～1，2，3，5，10，20，30SLM
　　准：±1％F。S；重复：±0.2％F。S
　　响应时间：电特性＜10sec气特性＜1～4sec
　　线性：±（0.5～1）％F。S工作压差范围：0.05～0.3MPa
　　耐压：3，10MPa；工作环境温度：5～45℃
　　输入输出信号电压：0～＋5.00V
　　电源：＋15V500mA，-15V500mA（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
　　电连接器：D14pin
　　外形尺寸：130＊28＊121mm
　　重量：约1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok：Φ3、Φ6、Φ10、Φ1／4〞、Φ3／8〞
　　VCR接头：Φ1／4〞、Φ3／8〞、Φ1／8〞