(PH-LE型)激光椭偏仪
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多角度激光椭偏仪(PH-LE)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量,能够测量薄膜厚度及其光学常数,使用632.8nm波长氦氖激光器,具有极高的度和准确度。



多角度激光椭偏仪-产品特点

可以测量单晶电池片、多晶电池片
可以测量抛光片,度和准确度极高
可以测量粗糙表面的绒片
适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数(偏振因数)进行测量和评估,提高测量
配置有高稳定度补偿器,提供小的漂移值和小的测量误差
配置有高的自动光学对准显微镜
可进行20°90°范围内的多角度测量



多角度激光椭偏仪-测量特点

非破环性检测
样品准直简单方便
测量速度快
可变入射角范围宽
测量
软件分析功能强



多角度激光椭偏仪-技术指标

光源:He-Ne激光器
光斑直径:1-2mm
入射角范围:20°90°,5°/
0.002°~ 0.02°
膜厚:0.01mm,对100nmSiO2on Si
折射率:0.0005,对100nmSiO2on Si
激光光斑:直径1mm
激光波长632.8 nm




多角度激光椭偏仪-典型客户

美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。

 

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