MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米级别，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。

　　应用领域

　　●MEMS器件（微机电系统）的振动特性

　　●连续的频域振动特性

　　●MEMS的故障分析以及可靠性测试

　　●MEMS运动特性分析