激光干涉仪
　　主要特色与效益
　　品质管制维护　
　　系统结构简单、重量轻　
　　自动数据采集　
　　激光准确度经由　NIST　
　　毋须三脚架及干涉镜　
　　WindowsTM软件　
　　RS-232接口　
　　自动环境补偿　
　　支持NMTBA、、ISO及　ASME　B5.54标准　
　　主要应用　
　　品质管制维护　
　　超精密定位
　　CNC机床、CMM、导螺杆及　DRO直线校验　
　　激光干涉仪的技术参数：　
　　量程  　100000mm
　　准确度  　1μm／M　；　
　　分辨率  　0.01μm
　　工作速度  　2400M／min