全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和性。已获得的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。



全自动光谱椭偏仪-产品特点

■全自动样品校准
■高测量速率< 8秒
■消除了全波段范围内的盲点
■可测量透明和吸收基底
■高测量
■具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
■友好的软件界面，强大数据分析功能
■具有实验数据和模拟数据三维绘图功能



光谱椭偏仪-技术指标

■光源：氙灯
■光斑直径：1-3mm
■入射角范围：20°到90°自动控制
■波长范围：350-850nm，250-1100nm，250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■波长：1nm
■ 测量时间: < 8s（取决于测量模式和粗糙度）
■ 入射角度：0.01

光谱椭偏仪-可选配

■CCD线阵列探测元件：200-850nm，350-1000nm
■样品显微镜
■高稳定性消色差补偿器
■透射测量架
■XY移动样品台

光谱椭偏仪-典型客户

美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。

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