本设备是半自动的硅片刻蚀清洗机。适用于6英寸及6英寸以下硅片的清洗。本设备由国内亲自指导设计、加工、组装和调试。在超净厂房完成设备的组装调试，达到国际先进水平。
　　
　　本设备外壳采用乳白色优质进口PP板焊接而成，耐腐蚀，美观大方，洁净度高。内部有不锈钢骨架，保证了设备的强度。其主要槽体采用耐酸碱，耐高温的PVDF板焊接而成，保证槽体的使用寿命。另外设备有故障报警，紧急停机等功能，保证设备使用的安全性。