NXXD-SH-20型硅料清洗机适用于6-200mm多晶硅料的酸腐蚀、清洗处理。用户操作人员手动上料后，手动酸腐蚀后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高，运行成本低，生产效率高，性能稳定，安全可靠等特点。
　　
　　主要技术指标
　　槽体数量：腐蚀槽：1个
　　DI水清洗槽：1个
　　水中传递槽：1个
　　超声槽：3个
　　三级溢流槽：1个
　　
　　清洗硅料数量：每个提篮可放置15Kg硅料
　　使用氮气压力：0.3～0.5Mpa
　　氮气流量：≤5-7L／min
　　接口管径：OD 3／8″
　　使用压缩空气压力：0.3～0.6MPa
　　压缩空气流量：≤5-7L／min
　　接口管径：OD 3／8″
　　使用DI水压力：0.3～0.4MPa
　　DI水流量：≤24L／min
　　接口管径：ODφ1″
　　排水口管径：ODφ63mm
　　设备废气排风量：≥8500L／min／每个排风口
　　化学液排放：ODφ40mm
　　电源：～380V±38V 50Hz 三相五线制
　　功率：3kW
　　外形尺寸（长×宽×高）：
　　6400mm（含上、下料）×1400mm×2300mm（含排风接口）
　　重量：2100kg
　　
　　设备结构及工作原理
　　如图1所示。NXXD-SH-20型去硅料清洗机清洗机主要由由机架、排风系统、工艺处理部分（包括一个腐蚀槽、一个DI水清洗槽、一个水中传递槽、三个超声槽、及一个三级溢流槽）、上下料系统、传动系统、水路、气路控制系统以及电气控制系统等组成。