分辨率 高真空模式(二次电子) 低真空(背散射电子) | 1.0nm (30kV),1.5nm (15kV),2.0nm(3kV),3.5nm(1kV) - | 工作真空 高真空模式 低真空模式 枪体真空 | <9×10-3Pa - <3×10-7Pa | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束 | 放大倍率 | 3×-1,000,000×连续可调 | 加速电压 | 500V至30kV | 电子枪 | 高亮度肖特基发射源 | 探针电流 | 2pA至100nA | 扫描速度 | 从200ns/pixel至10ms/pixel,可逐步或连续可调 | 聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 | 扫描特性 | 动态聚集、点和线扫描、倾斜校正、3D Beam | 图象尺寸
| 可达8192×8192像素,可单独调整为动态图像(4种)和存档的图像(10种),图像比例可选1:1、4:3或2:1 | 显微镜控制 | 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。 | 自动程序 | 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,扫描模式对中,加速电压改变的补偿,优化束斑大小和探针电流,优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,Look Up Table | 远程控制 | TCP/IP |
| 样品室 | 内部尺寸 | 300mm宽×330mm深 | 门宽 | 280mm宽×310mm高 | 接口数量 | 9个以上 | 样品室减震方式 | 气垫减震或选配内置主动式减震 |
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| 样品载台 | 类型 | 全电脑化优中心 | 移动范围 | 全马达驱动控制方式: X=130mm--马达控制 Y=130mm--马达控制 Z=100mm--马达控制 旋转:360°连续可调--马达控制 倾斜:-20°到+80°--马达控制 | 样品高度 | 143mm |
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| 软件 | 测量软件 | 图象操作 | 图象处理 | 3纬扫描 | 硬度 | 多图校正 | 目标面积 | 打印放大倍率 | 关机定时器 | 公差 | | 形态学 | 颗粒度分析 | 自动抓图 | 图象观测 | 电子束写入 | 鼠标连接 |
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| ●标配 ○选配 |
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