分辨率
高真空模式(二次电子)
低真空(背散射电子) |
1.0nm (30kV),1.5nm (15kV),2.0nm(3kV),3.5nm(1kV)
- | 工作真空
高真空模式
低真空模式
枪体真空 | <9×10-3Pa
-
<3×10-7Pa | | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束 | | 放大倍率 | 3×-1,000,000×连续可调 | | 加速电压 | 500V至30kV | | 电子枪 | 高亮度肖特基发射源 | | 探针电流 | 2pA至100nA | | 扫描速度 | 从200ns/pixel至10ms/pixel,可逐步或连续可调 | | 聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 | | 扫描特性 | 动态聚集、点和线扫描、倾斜校正、3D Beam | 图象尺寸
| 可达8192×8192像素，可单独调整为动态图像（4种）和存档的图像（10种），图像比例可选1:1、4:3或2:1 | | 显微镜控制 | 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。 | | 自动程序 | 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，扫描模式对中，加速电压改变的补偿，优化束斑大小和探针电流，优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，Look Up Table | | 远程控制 | TCP/IP |
| | 样品室 | | 内部尺寸 | 300mm宽×330mm深 | | 门宽 | 280mm宽×310mm高 | | 接口数量 | 9个以上 | | 样品室减震方式 | 气垫减震或选配内置主动式减震 |
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| | 样品载台 | | 类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | 全马达驱动控制方式:
X=130mm－－马达控制
Y=130mm－－马达控制
Z=100mm－－马达控制
旋转:360°连续可调－－马达控制
倾斜:-20°到+80°－－马达控制 | | 样品高度 | 143mm |
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| | 软件 | | 测量软件 | | 图象操作 | | 图象处理 | | 3纬扫描 | | 硬度 | | 多图校正 | | 目标面积 | | 打印放大倍率 | | 关机定时器 | | 公差 | | | | 形态学 | | 颗粒度分析 | | 自动抓图 | | 图象观测 | | 电子束写入 | | 鼠标连接 |
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| | ●标配 ○选配 |
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