此仪器有以下特点：
　　1.晶元光罩技术：
　　测量不受机械误差影响；
　　不受机件老化及磨损影响；
　　平面座标测量；
　　不需光栅尺；
　　不需编码器；
　　无阿贝误差；
　　X，Y平面座标≤5μm；
　　不受环境温度阶梯变化影响；
　　2.非气浮设备，无空压问题。

其他说明

型號	GM-7060A
測量範圍(X*Y*Z)	700*600*100mm
工作行程
影像攝取系統	sony晶片高解析彩色CCD
測量理論	晶元光罩絕對座標系統
軸向	5um
平面座標	±2.5µm ,±4µm,±5µm,±6µm,±7.5µm可選)
光源系統	上光LED光源
	LED底光源
光學放大倍率	0.65X-4.5X
影像放大倍率	30X-225X
儀器結構	00級花崗岩
工作臺結構	00級花崗岩
儀器重量:	950KG(包括機架)
工作臺承重:	3-5KG均布
軟體配置	標準	NEPTUNE  EF8000
	作業系統	正版XP系統
電源	220V       50±5HZ
功率	1KV
溫度範圍	20±5℃  1℃/h    2℃/24h     1℃/m
濕度	40%-70%
震動	〈30HZ
電腦配置 (定期更新)	主板:華碩P5KPL-SE主板
	CPU:E2200雙核
	記憶體:1G
	硬碟:160G