技术数据：
　　尺寸重量：长（635mm）×宽（660mm）×高（1350mm），300KG
　　输入电源：220V＋／-10％，50～60Hz，0.5A
　　输入气源：0.5MPa，20L／min洁净气源
　　扫描方式：二次θ扫瞄
　　分选跨度：10"～99"可任意设置
　　小读数：1"
　　晶片尺寸要求：X方向6～40mm，Z方向9～40mm.
　　样本数：1～300可任意设置
　　δ：1.0～9.0可任意设置
　　光路调整方式：可控光轨调整装置
　　输出方式：8英吋TFT触摸屏，CF卡，PICTBRIDGE打印接口
　　
　　测量模式
　　提供2°与35°统计方式选择
　　抽样测试模式
　　提供单次测量模式
　　提供静态测试模式
　　
　　报警功能
　　标准片校正不规范报警
　　样本数达到设定数值报警
　　
　　统计功能
　　提供样本数据列表
　　提供三种数据处理模型
　　动态中心值指示
　　动态标准偏差值指示
　　CPK制程能力指数实时计算