电镜清洗机
　　功能：主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染，防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。
　　
　　外型尺寸：W 345mm，H 220 mm，D420 mm
　　反应室尺寸：＆Oslash；80 mm，L270 mm
　　气体供应：流量控制型
　　射频发生器：40kHz/100 W
　　真空泵：Leybold，Type S1.5（1.5m³/h）
　　控制方式：PCCE控制
　　附件：TEM 专用舱门