等离子清洗机
　　Femto PCCE 创新触摸屏
　　适用制程研发，清洁，活化，蚀刻
　　外型尺寸：W 562 mm，H 211 mm，D 420 mm
　　反应室尺寸：＆Oslash；100 mm，L 280 mm
　　气体供应：流量控制型；双气体通道
　　射频发生器：40kHz/100 W，可调变输出功率
　　真空泵：Leybold，Type S1.5（1.5m3/h）
　　控制方式：电脑控制