LPCVD低压化学气象沉积设备
价格:电议
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  TYTAN炉系统用于半导体器件、微机电系统和光电池的制造。泰斯达已经在全世界安装了数百个炉子,并且它们的运转都是成功的,一些系统的运转已经超过了20年。TYTAN炉是由各种组件和组合件组装而成的精致的装置。其机械部分、电子组件和复杂的石英制品都经过特别的设计,以保护处理过程中的硅片的完整性。在操作工艺中,炉子在1300摄氏度的温度下运作,能够暴露在有毒,且有腐蚀性的气体和液体之中。
  
  在过去的30年内,炉子的设计由于泰斯达公司不断的更新,提高了其性能和耐用性。程序控制器经过数次重复设计,以增强其操作的简易度和性。TYTAN炉系统的设计让其具备了耐用性、稳定性和适用性。TYTAN炉系统为硅晶片的加工行业提供了一个独特的途径。隔热包产品提供了更紧凑的炉体-其性能却不打折扣。这种设计导致了均匀性良好的处理工艺和更高的硅片生产产量。TYTAN技术优势为:
  
  ■占地空间小,节约了40%的洁净室空间
  ■优质的温度和处理的均匀性
  ■正常运行时间大于95%,生产能力突出
  ■在节能上,超过竞争对手设计的50%
  ■加工生产量更高
  ■改善了对气体处理环境的控制
  ■倒流入炉管的空气量小
  ■使用的气体更少
  ■生成的颗粒少
  ■生产成本降低