6.1、真空箱体：铝制箱体，一体化制造
　　6.2、抽气系统：普发隔膜泵＋分子泵
　　6.3、真空检测：BALAZERS冷规
　　6.4、电源：高电源，毫安级控制
　　6.5、靶配置：1-3个溅射阴极，阴极采用软磁铁设计
　　6.6、可以镀镍，镍/钒或银，非常适合在圆片上面镀膜
　　6.7、工件架：可旋转工件架
　　6.8、控制系统：全自动电脑控制。