高纯（电子级）蒸汽式双氧水试剂精馏装置技术参数：
　　
　　规格型号：ZSYS-DE
　　生产装置和规模：100吨/a
　　加热方式：蒸汽式
　　吨耗汽：0.9~1吨
　　产品质量：CMOS-CMOS-II，单项离子含量10~50ppb；1~10ppb
　　原料：35%浓度
　　吨消耗：1：1.2
　　设备高度：5.6m（车间高度6m以上）
　　设备占地面积：10m2
　　生产车间面积：40~60m2
　　生产方式：减压连续生产法