机器尺寸　800X650X520mm（L　X　W　X　H）。
　　伺服平台平台尺寸：400mmx300　mm，XY移动行程：350X270mm，可定做更大行程的工作平台。
　　测量光源：精密红色激光线，照明光源：环型白色LED照明，测量模式：可编程多处自动扫描测量。视场：20X－100X　5档可调。
　　高度测量　0.002mm.高度重复测量±0.002mm.
　　摄像机扫描频率，60　Field/Sec.扫描范围多处，任意大小，可编程。
　　3D　模式：3D　模拟图，所有3D数据测量。
　　XY扫描间距　0.005mm-5mm　可任意设定电动。其他测量功能：全功能2维测量，数据管理，其他元器件，线路，油墨高度等扫描测量。
　　操作系统　Windows，重量　55　KG.
　　程序编制功能方便多次重复扫描，功能强大的SPC统计分析系统。