SQC310石英晶体膜厚控制仪系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色。同时可为您的应用选择理想的模式：顺序镀膜（SQC310）或共镀膜（SQC310C）。用于顺序镀膜，SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有2个传感器输入，2个源输出，和8个数字输入／输出，提供为这些数量加倍的扩展插件板选件用于共镀膜，SQC310石英晶体膜厚控制仪监测多至4个石英晶体传感器，带有4个PID控制输出，16个数字输入，和16个继电器输出，与SQC310的规范相同。
　　
　　■高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。
　　
　　■标准RS-232和USB（有以太网选件）。
　　
　　■易设置和操作，有“快速设置”菜单，6个上下文-敏感的按钮，和方便的参数设定旋钮。
　　
　　■Window程序用于开发，测试，和工艺过程，和将仪器数据记录至您的PC上，用于过程分析与质量控制。
　　
　　■的过程控制，尤其用于低淀积率，在10读值／秒时的分辨率为±0.03Hz，在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm.
　　
　　■贮存容量高至100个工艺过程，1，000个膜层，50个膜系。
　　
　　■用单传感器或多传感器监测源材料，提供的源分布监测。　

其他说明

 SQC310 / SQC310C 与 MDC360C 的产品比较

	MDC-360/360C	SQC-310 / SQC-310C	转换至SQC-310或SQC-310C的客户利益
测量
测量速率(Hz)	动态	可选	已知响应时间
频率分辨率(Hz)	.03 @ .5 Hz	.03 @ 10 Hz	改进
晶体频率	2,5,3,5,6,9,10	1 至10	改进- 可变
振荡器	无源的	无源的	相同规格
传感器均分	无/有	有	改进
显示器
尺寸	256 x 64 LCD	320 x 240 LED	大型- 易阅读
数字显示	LED	可选	可选大型显示器
厚度显示(仟安)	0.000 至999.9	0.000 至999.9	相同规格
速率显示(埃/秒)	0.0 至999	0.0 至999	相同规格
图形	R/T/D/P	R/D/P	相似图形
α过程/材料	有	指令性程序	Windows软件内含
参数
过程/膜层/膜系	99/999/32	100/1000/50	改进
剪切/复制/粘贴	有	指令性程序	Windows软件内含
速率斜坡	4	2	很少使用2个以上的速率斜坡
报警	扩展的	扩展的	相似规格
口令	运行/编写(过程)	编写(全部)	每个过程分别口令很少使用
传感器
传感器数	2/4/6	2/4	4个输出足够
传感器挡光器	常开,常闭,单,双	常开,单,双	常开一般足够
多晶体	8	16	相同规格
手动提示	无	有	相同规格
直接控制	Uni, Bi, 1, 2脉冲	1,2脉冲	相似规格
BCD/二进位	是	是	相同规格
晶体反馈	二进位, BCD	二进位, BCD	相同规格
晶体延迟(秒)	0 至99	0 至99	相同规格
输出
输出数	2/4绝缘的	2/4	一般无需绝缘
源挡光器	常开,常闭	常开	常开一般足够
挡光器键	有	有	相同规格
分度器室	8	16	相同规格
分度器位置
手动提示	有	有	相同规格
直接控制	有	有	相同规格
BCD/二进位	是	是	相同规格
分度器反馈	本机,二进位, BCD	二进位, BCD	相同规格
连接件	小型DIN	BNC	相似规格
记录仪输出	2	无	无需求
I/O
输入	8/16 12-120 AC/DC	8/16 24 VDC	工业标准
类型	有源/无源	无源	无源一般可接受
继电器	8/16, SPST 120V/2A	8/16, 48VDC	工业标准
I/O功能	可编程	可编程	相似规格
连接件	DB-37	DB-25	相似规格
通讯
通讯件	RS-232/488, GPIB	RS-232, USB/Enet	新技术
USB地址	无	SerNum	相似规格
USB部位	无	后板	相似规格
其它
尺寸	3.5" 全机架	5.25" 半机架	改进
桌上式	无	无	无市场需求
遥控手持件	包含	选项	可供选用
机架安装	有	选项	可供选用
黑盒式	MDC-361	无	面板锁定