1.触摸屏操作，多组程序设定，可照射多片，一键式完成全自动操作。
　　2.台式抽屉式结构方便取放WAFER，操作安全可靠。
　　3.适用于3inch-12inch的wafer.
　　4.采用进口光源，使用寿命长，安全性高，热量小，功耗低。