性能规格
　　：
　　±1.5％满度，在15ºC到25ºC及5到60psia（0.3到4bara）下，如果流量计是通过垂直流量通路安装的，则为下所示：
　　
　　工作压力
　　入口压力偏差2 50psig 100psig 150psig
　　±1psig±1.5%满度±1.5%满度±1.5%满度
　　±5psig±3.8%满度±4.5%满度±5.3%满度
　　±10psig±6%满度±7.5%满度±9%满度
　　注：（1）不能超过150psig.
　　（2）入口压力与标定压力之差，不可超过±10psig.
　　
　　重复性：
　　±0.5%满度。
　　温度系数：
　　0.08%满度每ºF（0.15％满度每ºC），或更好。
　　压力系数：
　　0.01%满度每psi（0.15％满度每bar），或更好。
　　响应时间：
　　时间常数800毫秒；6秒到终值的±2%以内，满度的25%到100%。
　　
　　操作规格：
　　气体：
　　大多数气体，检查与介质的兼容性：订货时具体指出。
　　质量流量：
　　0－10sccm到0－500slpm；指定的流量范围是76厘米汞柱、21ºC（70ºF）下的氮气对应流量范围；用其他单位表示的流量范围也可提供（即：scfh或nm3/hr）。
　　气体压力：
　　1000psig（68.9barg），仅适用于低流量流体。
　　500psig（34barg）；20psig（1.4barg）。
　　
　　压降：
　　820-S（低）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；15slpm：1.5psi（0.10bar或水的105cm水柱），值不同。
　　820-S（中）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；100slpm：1.5psi
　　（0.10bar或水的105cm水柱），值不同。
　　820-S（高）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；300、400和500slpm；2psi（0.14bar或水的140cm水柱），值不同。
　　气体＆环境温度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50ºC）。
　　防渗漏功能：
　　为5×10-9ATM CC/sec（氦气）。
　　电源要求：
　　12到18VDC，通常15VDC，100mA，24VDC可选，订货时具体指出。
　　输出信号：
　　线性0-5VDC，1000＆＃8486；小阻抗；
　　线性4-20mA，500＆＃8486；回路电阻。
　　显示（可选）：
　　数字液晶显示，可远程安装。
　　
　　物理规格
　　材质：
　　316L 不锈钢，镀镍，标准“O”形橡胶密封圈（Viton“O”-rings）、氯丁橡胶及4079 Kal-Rez“O”型密封圏可选。