Tropel®FM200®为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM200能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
　　
　　产品特点：
　　■无接触和无损伤测量
　　■适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
　　■适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
　　■适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面
　　■测量多种不同指标：
　　厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
　　■完整的分析系统：
　　三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
　　■可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
　　■超过15年的工业应用，几百台的装机量。
　　
　　技术参数：
　　■度：50nm（2.0μ″）
　　■重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
　　■分辨率：5nm（0.2μ″）
　　■可测量工件尺寸：25mm-200mm
　　■动态测量范围：>100um
　　■测量数据点：230，000/measurement
　　■测量时间：5秒
　　■电源：～220V 50Hz.