微机电气体质量流量计
　　工作原理
　　微机电系统（MEMS）芯片传感技术，是在硅芯片上集成了具有机械和电子特性的微米级传感器。它并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上，而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可实现某些宏观机电器件所不能达到的功效。
　　MF系列质量流量计采用了本公司生产的热质量气体流量传感芯片，属于质量流量传感方式的流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，因而，它所测量的流量为质量流量。
　　不同于传统的“热丝”方式采用了多个热传感器及热源来测量气体的质量流量（风速式热质量流量原理），微机电系统芯片热质量流量传感器采用了多个热传感器和一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。微机电系统芯片热质量流量传感器的热源十分微小，采用插入式在相对大的流场中，在无气体流动时，传感器的热源对环境无影响，不会像传统的热丝式质量流量计那样造成气体的对流。因而，微机电系统芯片热质量流量传感器具有优良的零点稳定性和极短的响应时间。
　　本流量计主要由电源模块、MEMS流量传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、EEPROM存储器、RTC实时时钟模块以及显示模块组成。
　　
　　技术指标
　　范围度＞100：1
　　±（1.0＋0.15FS）%；±（1.5＋0.15FS）%
　　重复性±0.5%±0.75%
　　工作压力＜2.5MPa 2.5〜4.0 MPa为定制产品
　　环境温度-10-55℃
　　介质温度-20-60℃
　　湿度＜95%RH
　　LCD显示总量（Nm3），流量（Nm3/h）
　　供电方式 8-24VCD；110/220VAC（适配器供选）
　　校准条件空气、20℃；101.325KPa；可根据用户要求进行实际介质标定
　　材料/机械连接不锈钢；法兰/NPT/BSPT
　　数据存储可自动存储数据
　　输出（选项）RS485；4-20mA；脉冲
　　用户控制（选项）用户界面软件
　　防护等级 IP65
　　防爆等级 Ex ia IIC T4