AERA FC-R7800系列质量流量控制器
价格:电议
地区:广东省 深圳市
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  FC-R7800系列采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性,可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE独特电气信号可选方案,可方便对用户使用的质量流量控制器(MFC)进行替换,操作简单。
  特点
  ◆高
  ◆高信赖和可靠性
  ◆耐腐蚀设计
  ◆采用金属密封材质
  ◆VCR、Swagelok互换的气路接口
  ◆10SCCM-200SLM满量程范围
  ◆方便的互换性
  ◆高速应答的统一性,目前世界上有大约7万只在运行中的产品,内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉◆方
  ◆方便的互换性 

其他说明

性能指标 FC-R7800CD/FC-R7800D系列
 
FC-R7810CD/FC-R7810D系列
 
FC-R7820CD/FC-R7820D系列
 
满量程范围
 
10Sccm-5Slm N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
35-200Slm
响应时间 满流量的±2%范围内,小于2秒 满流量的±2%范围内,小于3秒
≤±1%满量程 ≤±2%满量程
线性镀 ≤满量程±0 5% ≤满量程±0 5% #1 ≤满量程±1%
重复性                           ≤满量程±0.2%
泄漏率                             1X10E-11 Pa.m ³/sec
控制范围                           满流量的2%-5%  #2
压差 49Kpa-275Kpa
 
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
147Kpa-275Kpa
 
正常工作压
                           490Kpa
 
进气压力                            980Kpa
 
温度范围
 
                           5-45℃(41-113℉)
 
输入电源
 
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 200mA
功率 3.1W max 3.5W max
输入信号 0-5 VDC
输出型号 0-5 VDC
控制阀形式 常开或常闭电磁阀
密封件 金属密封
材质 316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶)
标准接口 1/4"VCR和Swagelok兼容 3/8"VCR,1/4"VCR
重量 1.0KG 2.7KG