INFICON的Pirani　标准真空计PSG500和　PSG502-S　代表封装在坚固耐用小型管壳内的先进的Pirani技术。温度补偿提供快速与稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题。坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统，以及常规用途如前级真空管道中。
　　特点
　　
　　占空间小
　　任何方位安装
　　不锈钢测量单元的金属密封馈入件
　　化的温度补偿
　　易于集成的对数讯号输出
　　至10巴压力的高过压能力，用螺纹连接件
　　烘烤型在法兰处可达到250°C
　　易于更换的传感单元
　　
　　应用
　　
　　控制高真空电离真空计
　　前级真空压强监测
　　真空系统中的安全电路
　　在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制