应用

LEXT OLS4100可用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D 表面形貌、

2D 的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

? 精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件；

? 生命科学

? 电子元件：光掩膜，微透镜，柔性电路板接触点，MEMS等

? 半导体：晶圆凸起，导光板，芯片焊点，导光板激光点等

? 原材料/金属加工：电镀金刚石工具，碳精棒，极细管，胶带等

? 纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量

? LED行业

■技术参数

光源：405nm半导体激光 白色LED

检出系统：光电倍增管

变焦：光学变焦：1～8X，数码变焦：1～8X

分辨率：移动分辨率10nm，显示分辨率1nm

物镜转换器：6孔电动物镜转换器

物镜：100x，50x，20x，10x，5x等

XY载物台：100×100 mm（电动载物台），可选： 300×300 mm（电动载物台）