HDS-LS3-6040是一个由压电马达驱动的高三维微米探针台，X-Y-Z三轴的行程均为13毫米，开环步长为0.05μm，探针可选配。
　　
　　HDS-LS3-6040专为科研实验室中微米尺度/量级的力学、光学、电学、磁学、热力学等性能测试打造的微米探针台，并可增配闭环控制，实现1μm的走位控制。