三轴导轨均采用高自洁式空气轴承，运
　　动更平稳，导轨永不受磨损
　　三轴均采用高增量式金属光栅尺
　　Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量
　　的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量
　　和稳定性
　　采用RENISHAW的控制系统，保证了机器的动态性能测量
　　各运动轴均采用直流伺服驱动，确保运动的
　　平稳和准确
　　X向采用精密三角粱技术，相比矩形梁
　　和横梁，重心更低，质量刚性比，运动更加可靠
　　软件为Serein　Dmis，经济易学实用