NanoScan光束质量分析仪在保持BeamScan易用性和灵活性的基础上提高了产品的主要性能，对紫外到远红外光谱范围内的连续光和脉冲光均可进行测试，探测功率可达千瓦级。
　　
　　NanoScan光束分析仪基于PCI结构的数字控制器可以提供12比特的数字信号，可以提供高达35dB的光学动态范围。它把光束测量的和稳定性提高了几个数量级，现在光束尺寸和光束瞄准的测量误差达几百个纳米已成为可能。
　　
　　NanoScan的扫描速度软件可控，采用峰值关联算法可对连续光和KHz以上的脉冲光束进行测量，软件可对1-16个光束进行亚微米的分析准，而且具有ActiveX自动控制功能，便于把NanoScan OEM到其它系统中。
　　
　　NanoScan系统有硅、锗以及热释电探测器可供选择，光谱响应范围从紫外到100µm以上的远红外。其中，NanoScan光束质量分析仪的硅和锗探测器系统标配200mW的功率计功能，测量1.5％。