数字式高干涉、测角、分光仪集干涉仪、测角仪和分光计于一体，适用于激光和光学行业、计算机辅助的光机电一体化检测仪器。采用高的CCD相机为接收单元；通过自主版权、包括干涉条纹分析模块、角度计量模块和分光测量模块的计算机软件辅助分析；实现测试过程的全自动和达到计量等级的测试。

　　具体性能指标为：
　　体积：750 x 360x540mm3
　　重量：50kg
　　口径：2"
　　：平面二分之一波长, 球面十分之一波长@532nm
　　重复度：百分之一波长
　　测试与ZYGO同一等级。
　　测角模式：
　　口径：2”
　　：0.36角秒
　　分辨率：0.05角秒
　　测角范围：+/-20角分
　　分光计模式：
　　波长：0.4um-2.3um
　　折射率：0.00001
　　软件要求：
　　操作系统：Windows95/Windows98
　　主机：Pentium/Pentium II
　　硬盘：50M