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思瑞Function Plus系列三坐标测量机

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??主要特征 —— 采用L型移动桥式，由两到三个高等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，运动部件采用高硬度轻质铝合金材料—— X轴和Z轴均采用超精加工及经过硬质阳极化处理的挤压轻质铝合金—— Y轴采用一体化槽型花岗岩导轨—— Z轴采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性—— 各运动轴均采用高性能直流伺服测速机组和单级多楔带减速系统—— 三轴采用预载荷空气轴承，运动更平衡，导轨永不受磨损—— 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，分辨率高达0.039vm—— 测量机三轴及工件都配置温度传感器，实时监控温度变化

机器型号		Function plus 10158	Function plus 10218	Function plus 10308	Function plus 122110	Function plus 123010	Function plus 152110	Function plus 153010	Function plus 152112	Function plus 153012
行程（mm）	X	1000	1000	1000	1200	1200	1500	1500	1500	1500
	Y	1500	2100	3000	2100	3000	2100	3000	2100	3000
	Z	800	800	800	1000	1000	1000	1000	1200	1200
测量空间（mm）	Dx	1364	1364	1364	1564	1564	1864	1864	1864	1864
	Dz	151	151	151	151	151	151	151	151	151
	Dz1	951	951	951	1151	1151	1151	1151	1351	1351
平台（mm）	Ph	400	400	400	400	400	400	400	400	400
平台（mm）	Py	2000	2600	3500	2600	3500	2600	3500	2600	3500
支撑（mm）	Sy1	400	400	400	400	400	400	400	400	400
	Sy2	1200	1800	2700	1800	2700	1800	2700	1800	2700
	Sx	1300	1300	1300	1500	1500	1800	1800	1800	1800
外形尺寸（mm）	L	2726	3326	4226	3326	4226	3326	4226	3326	4226
	W	1780	1780	1780	1980	1980	2280	2280	2280	2280
	H	3422	3422	3422	3622	3622	3622	3622	3822	3822
承重（kg）		1300	1800	2000	3000	3500	3000	3500	3000	3500
机器重量（kg）		5500	6500	9500	7600	11000	8600	13000	8800	13200
MPEe(μm)		3.1+L/300			3.5+L/300		4.0+L/300		5.0+L/300
MPEp(μm)		3.3			3.7		4.2		5.2
光栅尺分辨率(μm)		0.078
空间移动速度(mm/s)		433
空间移动加速度(mm/s²)		1039
流量/供气压力		2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa

注：工作环境为温度（20±2）℃, 湿度为45%-75%