1、设备描述

　　BXT2931C型四通道半导体参数分析系统为高性能、全自动、可程控设备。可用于多类半导体器件（如二极管、三极管、场效应管、MOS、CMOS管等的多种不同成品形式如晶片、成品电路等）的直流参数测量和分析，并可进行图形显示。主要应用于集成电路的计算机辅助设计（CAD），新元件的评价，新材料的评估，电路设计的元件选择，半导体生产的过程控制、质量控制及品质保证等。

　　2、主要组成

　　设备配备可程控的源／测量单元（SMU）4个，单路电压监测单元（VMU）1个，主控单元（MCU）1个。使用GP-IB IEEE488.2接口与微机相连，配置的控制机软件系统可遥控BXT2931C设备，使用BXT2931C设备采集的数据进行图形显示并分析。该设备可独立使用，也可作为实验室及生产线完整测试系统的组成部件之一。