TS8618高速光学扫描振镜系统主要用于高速在线飞行标刻、高速高静态标刻、激光调阻、激光刻线等。可带载10mm、12mm标准入射光斑的各种波长的镜片，与其相配的驱动板型号为SD-800.
　　
　　TS8618型高速光学扫描振镜系统技术参数
　　（所指角度为机械角，所有参数测定均为一分钟上电后）
　　
　　1.SD-800伺服驱动板参数说明：
　　1.1 电源电压：±24V±10％（正负电压值相等）
　　1.2 模拟信号输入阻抗：200K±1％Ω（单端输入）
　　1.3 位置信号输出阻抗：1K±1％Ω
　　1.4 模拟位置信号输入范围：±10V／±5V（可选）
　　1.5 位置信号输入比例系数：0.5V／°
　　1.6位置信号输出比例系数：0.5V／°
　　1.7 工作温度：25℃±10℃
　　1.8 驱动板尺寸：80mm（L）＊60.5mm（W）＊31mm（H）
　　
　　2.马达的电气与机械特性：
　　2.1 小步长阶跃响应时间：0.5ms
　　2.2 线性度：99.9％，范围±20°
　　2.3 比例漂移：＜40PPM／℃
　　2.4 零点漂移：＜10μRad.／℃
　　2.5 重复：＜10μRad.／℃
　　2.6 平均工作电流：1.5A
　　2.7 峰值电流：15A
　　2.8 扫描角度（机械角）：±21°
　　2.9 工作温度：25℃±10℃