EM-30台式扫描电镜
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  产品简介
  EM-30台式扫描电镜拥有EM-20型全部特征以外,加速电压调节范围扩展到30KV,首先对于选配EDS的用户,分析能力获提升,其次获得更高电子光学分辨能力,有效放大倍数进一步提高。另外EM-30样品台增加了马达驱动倾斜台,由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作,不但可实现立体对观察,而且通过对样品台精细地调节角度,可使用样品室SE探测器获得良好的背散射电子图像。

  技术指标:
  分辨率:5nm@30kv SEI
  电子枪:发叉式钨丝阴极,预对中灯丝
  放大倍数:X20 to X100,000
  加速电压:1kV to 30kV
  探测器:SE Detector,EDS/BSE(可选)
  真空系统:全自动涡轮分子泵系统,高真空时间小于3分钟
  样品台:X axis:35mm(马达驱动)
  Y axis:35mm(马达驱动)
  T axis:0~45°(马达驱动)
  Z axis:5-50mm
  R axis:360度
  样品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter)
  视频采集分辨率(Pixel):选区(320x240),TV(640x480),Slow(800x600),Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840)
  帧频:选区(Max.30 frames/sec),
  TV(Max.10 frames/sec)
  Slow(Max.2 frames/sec)
  自动功能:一键成像,自动灯丝饱和,自动聚焦,自动亮度对比度
  计算机操作系统:Windows 7
  操作方式:键盘/鼠标,全触摸屏操作(可选)
  外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm
  重量:80kg