产品简介
　　大型样品室，分析型物镜，可同时接配EDS/WDS/EBSD，在观察精细形貌同时，做化学成分和晶体结构定性定量分析。五轴马达驱动样品台，高速涡轮分子泵真空系统，全部由酷塞目［COXEM］NanoStation计算机导航自动操作，轻松自如。
　　CX-200TA标配SE探测器，观察表面精细形貌形态；可选配BSE探测器，观察材料成分反差像，同时可扩展低真空观察模式，非导电样品可直接观察；可选配全套的X射线微区分析附件（EDS、WDS，EBSD）原位实现化学成分定性定量，及微区晶体结构定性定量分析；可选配＋CCD样品室监控附件。
　　
　　技术指标：
　　分辨率：
　　3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI）
　　4.0nm（30kV，BSEI）
　　放大倍数：10x~300，000x
　　加速电压　0.5kV~30kV
　　电子枪：三级自给偏压，偏压电阻可自动/手动调节，预对中发叉式钨丝阴极
　　样品室：内径φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS　EBSD等分析附件。
　　样品台及行程：计算机导航全自动机械对中样品台
　　X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360°
　　真空系统：带安全防护的自动高真空系统，涡轮分子泵260升/秒＋旋片式机械泵100L/min
　　真空度实时显示。
　　高真空：样品室处真空度优于7.5x10-5　Torr，
　　低真空：样品室　1-270Pa