1、X射线光电子能谱（XPS）
　　2、俄歇电子能谱（AES物质的组织成相结构
　　3、X射线衍射仪（XRD）
　　4、扫描电子显微镜（SEM）
　　5、X射线能谱仪（EDS）
　　6、微纳米力学综合测试系统
　　7、电化学综合测试仪
　　8、轮廓仪
　　9、金相显微镜
　　10、X射线荧光测厚仪等
　　极高的表面灵敏度<10nm
　　检测原子序数大于氦的所有元素，检测极限：0.1％
　　化学价态信息
　　深度分布
　　面扫描、线扫描分析
　　
　　X光管：Cu靶、Co靶
　　光路：聚焦光路用于体相材料分析，同时配备高温样品台，温度范围：室温～1200℃
　　小角衍射（薄膜样品）
　　利用全反射可以测薄膜厚度
　　
　　粉末、块体试样的物相测定
　　晶粒度、点阵常数测定
　　钢和铸铁中残余奥氏体测定
　　表面涂层、渗层物相分析
　　材料失效与事故分析
　　首饰鉴定
　　研究材料的高温相变过程
　　薄膜材料的物相结构