产品类型

普通型,电磁干扰

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm

产品

±1.5％F.S.

重复

±0.2% FS

线性

±1％F.S.

响应时间

≤10sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

常闭

温度系数

点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Female

工作压差范围

(0.1～0.5) MPa

漏率

1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

电磁干扰

CE

重量

1.1Kg