EMS 7620是一款紧凑、实惠型SEM离子溅射镀膜仪，镀碳附件EMS7620-CF作为可选件为镀碳时所需。该款设备具备辉光放电功能，这对于TEM的碳膜或其它材料样本表面修饰非常有帮助。
　　
　　特征：
　　价格实惠
　　操作简单
　　磁控管溅射头
　　结构坚实
　　碳丝蒸发可选
　　样本台高度可调
　　靶材更换简便，金/钯为标配靶材
　　符合新的安全规程要求，具备主动电气连锁功能，确保操作安全
　　三年质保
　　规格参数：
　　整机尺寸 340mm W x 130mm D x 250mm H（unpacked）不包括腔室
　　
　　现场条件：
　　电气要求 240VAC-13A，频率50Hz，额定功率250VA，真空泵的额定输出是230V、10A
　　溅射气体氩气（零级），配有二级压力调节器，工作气体压力在5-10psi
　　真空泵真空压力不低于10-2mbar，流量50L/m 或 90L/m 的二级旋转真空泵
　　碳蒸发附件（可选）EMS 7620-CF 碳蒸发附件与EMS7620可以配套使用
　　
　　货号产品规格
　　EMS 7620 EMS 7620迷你型离子溅射镀膜仪EMS 7620"Mini"Sputter Coater
　　包含：91017-AP gold/palladium（Au/Pd）target，1m length of 12mm bore flexible vacuum hose，1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump，1 x rotary pump plug，comprehensive operating instructions each
　　91017-Au 金靶Gold（Au）target each
　　91017-AP 金钯Gold/palladium（Au/Pd）target each
　　91017-PT 铂靶Platinum（PT）target each
　　91017-AG 银靶Silver（AG）target each
　　91017-Pd 钯靶Palladium（Pd）target each
　　91017-。2-Au 金靶Gold target（Au）0.2mm thick each
　　91017-。2-AP 金钯Gold/palladium（Au/Pd）target 0.2mm thick each
　　91017-。2-PT 铂靶Platinum（PT）target 0.2mm thick each
　　91003爱德华旋转真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter（115/230V 50/60Hz）each
　　96000 Replacement oil mist filter each
　　91040碳蒸发附件（镀碳时选用）Carbon evaporation attachment—EMS 7620 each