EMS300R T大样品离子溅射镀膜仪Large Chamber Sputter Coaters
　　适合SEM（扫描电镜）、FE-SEM（场发射扫描电镜）、TEM（透射电镜）。
　　EMS300R T 与EMS150R T相似，明显区别是EMS300R T腔室足够大，达到203mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见EMS300T T）。
　　
　　特征参数
　　1、可以进行超大样本（直径至203mm）的金属镀膜
　　2、三个溅射头确保溅射沉积质量
　　3、单靶材选择功能，可以进行小样本镀膜
　　4、多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选
　　5、选择装配膜厚监测仪可以控制膜厚
　　6、全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便
　　7、可以储存不同用户的程序
　　8、能够记录100个新镀膜细节
　　9、真空自动控制，且具有真空保持功能
　　10、落入式样品台拆装方便（标配是旋转样品台）
　　11、长60分钟不间断镀膜能力
　　12、符合人体工程学的整体注塑机身
　　13、电气符合CE要求
　　14、三年质保
　　样品台
　　EMS300R T有多种型号的样品台可以选择，用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便，样品台除了行星台外其高度均可调，旋转速度在预设范围内实现可调。