应用领域:
金属电镀镀层分析领域技术指标:
>多镀层,1~6层>测试:0.01 um>多次测量重复性误差<0.1%>元素分析范围从铝(Al)到铀(U)>测量时间:10-60秒>Si-PIN探测器,能量分辨率为149电子伏特>微焦X射线管50KV/1mA,钨靶,焦斑尺寸 75um, 寿命大于3万小时>7个准直器及6个滤光片自动切换> XYZ三维移动平台,荷载为5公斤> 高清CCD摄像头,监控位置>多变量非线性去卷积曲线拟合>高性能FP/MLSQ分析>平台移动范围 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm 图谱界面:
>软件支持无标样分析>超大分析平台和样品腔>集成了镀层界面和合金成分分析界面>采用先进的多种光谱拟合分析处理技术>分析可达到0.01um分析结果
>直接打印分析
>可转换为PDF,EXCEL和HTML格式