采用海克斯康集团的技术；先进的全铝技术，的刚性/质量比，保证高性能和高；X向横梁采用超高精密三角梁（Tricision）技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比，运动更加可靠，该技术受到保护；Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量和稳定性；Z向采取获得的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的和长期稳定性；三轴均采用德国HEIDENHAIN光栅尺，系统分辨率可达0.078μm，同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩；各运动轴均采用直流伺服驱动＋增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位；采用海克斯康为Croma打造的IDC-1控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了机器的动态性能和测量