名          称  参        数
工
作
台  金属台面尺寸(MM)  650 ×550
 方形玻璃台面尺寸:(MM)  520X420
 X座标行程:(MM)  500
 Y座标行程：(MM)  400
 仪器外形尺寸(长)Х(宽)Х(高) MM：  680Х 950 Х1100
 仪器重量（KG）：  480
Z座标升降行程:(MM)：170(调焦)   工作距离（MM）：95
X/Y/Z数显解析度：0.0005MM (0.5UM)   X、Y坐标示值误差：≤（3+L/200）ΜM
影
像
系
统  摄影机：彩色1/3″CCD摄影机(日本索尼芯片 580线高分辨率工业摄像机）
美国变焦物镜倍率：0.7～4.5X（定格变倍，无需每次校准）
视频总倍率：30X～230X
物方视场：7～1.1MM
传动型式：X、Y、Z轴均采用马达驱动磙珠丝杆传动的型式
电脑自动采样，端口输出，软体进行资料分析处理
X、Y轴马达运动速度＜120MM/S   Z轴马达运动速度＜60 MM/S
马达运动步长0.4 MM/步         马达分辨率1000步/转

照  明  程控可调LED表面光和底光(使用全安全电压)
伺服/步进电机  台湾原装进口
电  源  180V（AC）～260V（AC） 50HZ
测量软体  VMS测量软体，可测缐、角、圆，随圆、圆心距、角度、高度、平面距、空间距、平整度、球，自动逆向扫描等，自动输出WORD/EXEL/CAD！