行程：X轴：800 mm
　　Y轴：1000 mm
　　Z轴：600 mm  
　　◇结构型式：移动桥式
　　◇传动方式：直流伺服系统＋预载荷高空气轴承
　　◇开放式光栅尺
　　◇机台：高花岗岩平台
　　◇整机尺寸：1509m m X 2040 m m X 2710m m
　　◇机台承重：1000 kg  ，
　　整机重量：2000 Kg
　　◇长度测量允许示值误差：MPEE＝2.5＋L/300
　　◇允许探测误差（＆＃61549；m）：MPEP＝2.5