真空系统是用来获得真空的排气装置。它主要由各种真空泵或真空发生器、电磁阀、真空计、真空阀门以及连接管道组成。如同电子电路中的电源、电流表、开关及导线一样。
由于各种实际应用对真空系统的要求不同,因此真空系统的类别也较多,根据不同的情况可对其分类。
(1)按真空系统的工作状态可分为动态真空系统和静态真空系统。凡是真空室或被抽器件某处有放气或漏气,系统中有气流存在,因而系统内各处压强不同,这种系统称为动态真空系统。凡是真空室或被抽器件内没有放气和漏气,系统内没有气体流动,因而系统内各处压强相等,且长时间不变化,这种系统称为静态真空系统。
(2)按真空系统工作的压强分,有粗真空系统;低真空系统;高真空系统;超高真空系统极高真空系统。