探针座台面规格
　　探针台台面平整度：5µm.
　　台面可以同时容纳4~6个探针座。
　　卡盘（载物台）规格
　　4"卡盘，卡盘平整度：5µm，可放置样品尺寸为4"X4"。
　　卡盘上可根据客户要求增加信号连接接口，方便与仪器相连
　　卡盘可360度旋转，方便点测时样品在X-Y轴向上调平。
　　（注：根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调为0.1度，带角度锁定旋钮）。
　　卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为4"X4"，移动为10微米，配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。
　　
　　显微镜
　　规格
　　本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1
　　光学系统内，连续变焦范围 0.8X〜5X
　　目镜放大倍率：20X.
　　总倍率：16X-100X
　　双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm
　　环形白色照明光源
　　显微镜采用光轴固定。
　　显微镜在Z轴向的调节范围为50.8mm
　　带C MOUNT，C MOUNT是CCD接口。加上CCD后，配置一台PC，能够在PC的显示器上同步观察样品。同时，可以用PC控制CCD进行样品的相片采集和录像。
　　
　　探针座：
　　±10Micron
　　牙具 50牙/寸
　　X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
　　磁力底座/磁力翻转底座
　　特点：简易小巧，操作方便
　　
　　探针参数：
　　探针分类：软针及硬针
　　软针：0.2um/0.7um/1um
　　硬针：5um/10um/15um/20um
　　根据客户使用要求，可配以针尖为5um的探针
　　探针材质：针杆为镍，针尖为钨
　　美国进口探针，通过SEM（扫描电子显微镜检测）保证针尖打磨光滑无鳞片状。