品牌：天泽
　　型号：VMS-5030
　　操作方式：程序控制
　　
　　仪器特点：
　　该系列大行程全自动影像测量仪采用龙门式结构（桥架式）运行性能稳定，且机构稳定不变形。X、Y、Z三轴均采用伺服电机、全采用双重闭环运动控制、可保证电机在中、高速动动时的稳定性，和准确的定位功能，影像Z轴可自动对焦、配合美国Navitar自动变焦镜头，可实现自动变焦而不需倍率校正。
　　
　　仪器用途：
　　目前主要运用在PCB线路板、覆铜板、平板玻璃、液晶模组、刀模、绝级材料等。

其他说明

工作台	金属台面尺寸(mm)		760×640	800×550	800×800	750×1000	1140×1360	1340×1660
	玻璃台面尺寸(mm)		550×350	650×450	650×650	650×850	1050×1250	1250×1550
	运动行程(mm)		500×300	600×400	600×600	600×800	1000×1200	1200×1500
Z轴升降行程	200mm
工作距离	92mm
X,Y,Z数显解析度	0.5μm
X,Y坐标示值误差	≤(3+L/200)μm
影像系统	摄影机: 日本原装彩色1/2″CCD摄像机 变焦物镜倍率: (美国:NAVITAR)0.7~4.5X 或自动变焦镜头 视频总倍率: 30X~190X 物方视场: 10.6~1.6mm 表面光源与透射光源均用LED,48组可编程.
测量系统	Mclns全自动测量软件