技术参数
　　1.激光器系统
　　激光波长：1064nm
　　激光平均功率：10W
　　典型光斑尺寸：35µm
　　实际切口取决于材料、光学器件和波长
　　冷却方式：风冷
　　对焦方式：计算机程序控制
　　2.激光束定位系统
　　激光束运动范围：60mm X 60mm
　　重复定位：2µm
　　定位：±5µm
　　激光束小步进：0.76µm
　　3.图像监视系统
　　监视方式：激光同轴监视
　　监视视场：4-6mm（对角线）
　　图像监视显示屏：19寸液晶
　　4.测量系统
　　激励方式：电流激励
　　恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
　　电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制）
　　直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
　　调节对象发热控制：程序可设定

　　电阻测量：低阻：<0.05%＋0.5%/R（R<100Ω）
　　中阻：<0.05%
　　高阻：<0.05%＋0.5%R（R>0.1MΩ）
　　电阻测量范围：0.01Ω-10MΩ
　　电阻测量速度：25µs
　　直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
　　探针板：44针11通道四线制（可选其它规格）
　　探针板运动：计算机程序控制
　　5.计算机及软件系统
　　工业控制计算机（双核），19寸液晶
　　操作系统：Windows XP
　　VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
　　6.分步重复机械运动系统
　　运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力
　　运动范围：290mm*260mm
　　陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做）
　　运动分辨率：1µm
　　重复：2µm
　　定位：±15µm
　　运动速度：500mm/s
　　7.其它技术指标
　　供电电压：220V AC
　　整机功耗：1000W