KS-420太阳能电池片专用扩散炉
　　设备型号：KS-420
　　设备主要特点：
　　紧凑型设计
　　标准单台四管（三管可选），减少占地面积。
　　闭管磷扩散
　　工艺反应过程中，工艺片在石英管内，Sic桨外置，实现真正意义上的闭管扩散。
　　各种气体控制流量
　　数字式MFC的运用，比模拟式的控制提高，还消除了模拟传输的干扰。保证工艺生产的稳定性。
　　废气收集系统
　　带有废气定向回收冷却装置，收集后统一从后部排出。
　　气体喷淋扩散工艺
　　POCl3，可采用管内喷淋式引入到各反应区域，有效提高扩散的均匀性。
　　送片方式
　　高定位和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳可靠，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
　　封门系统
　　密封的炉门设计，有效减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，保证装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
　　自动压力平衡装置
　　自动闭环压力控制。实现压力平衡自动处理。