单多晶硅片无接触厚度TTV电阻率型号测试仪
价格:电议
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无接触式电阻率型号厚度综合测试仪HS-RW-200

 

 

 

产品介绍:

HS-RW-200型无接触式电阻率型号厚度综合测试仪是基于涡流测试技术、电容测试技术,能够对半导体晶片进行无接触、无损伤的电阻率、型号以及厚度测试,综合测试大大节省测试时间。

 

无接触式电阻率型号厚度综合测试仪-产品特点

 

■采用涡流法测试晶片电阻率

 

■采用电容法测试晶片厚度

 

■无接触、无损伤快速测试

 

■测试前无需表面处理

 

■特别对于多晶,能够有效避免晶界对测试的影响

 

■电阻率测试范围:0.001-1-20ohm.cm

 

■厚度测试范围:200-1200um

 

无接触式电阻率型号厚度综合测试仪-技术指标

■   晶片可测量电阻率范围:0.001-1-2Ohm.cm

■   晶片可测量厚度范围:200-1200um

■  测量时间:1Point/s

■   晶片直径:40-200mm

■  推荐使用温度:23℃±3

■  湿度:≤80%

■  气压:86-106kPa

■  使用电压:220±10V

■  频率:50±3Hz

■  功率消耗:≤50W

■  尺寸(LxWxH):410x310x270mm   重量:15kg





典型客户
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。