TROPEL平坦度检测仪的特色及优点：
　　•测量原理  
　　-斜角入射干涉
　　•非接触式检测
　　-无破坏，无污染，不变形
　　•准确
　　-提供微米级测量
　　•快速反应3～5秒出结果
　　-允许快速显影，进行工艺监控
　　
　　-在制造中如出现质量问题，可快速停止操作，预防不良品的出现
　　•灵活易操作，检测品无定位器
　　•快速提供的N次微观计检测
　　•NIST跟踪系统进行校准和确认反常信号
　　-在临界处也能保证检测数据的完整
　　•多功能用途
　　-在实验室或车间进行较宽物体的平坦度检测
　　-扩散表面无问题
　　-30μm动态范围（特殊定单延伸范围～100μm）
　　
　　•广泛的应用范围：
　　-半导体行业——晶圆（Si，SiC，砷化镓，蓝宝石，氮化镓），磁盘，光罩等；
　　-工业——燃料喷射器（喷油嘴），滚动轴承，离合器，密封件等；
　　•多种被测物材料
　　-陶瓷，金属，玻璃，聚合物等
　　-经研磨，抛光，蚀刻等过程后的部件
　　•标准测量
　　-平坦度，谱线轮廓，球面半径等。