PVD1912真空镀膜机配置表
　　一、真空机组
　　1、2X70旋片泵（南光）
　　2、RTO300S罗茨泵（萃曼）
　　3、TYFB3600分子泵（泰岳恒）
　　4、阀门：GDZ3X400A高阀（全不锈钢结构），维持阀、前级阀、预抽阀为GDQ100型（全不锈钢结构），DDC80电磁充气阀（上海二阀），旁通阀为罗茨泵内安装阀；
　　5、管道为SUS304不锈钢结构，软连接为波纹管。

　　二、罐体
　　1、太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸1920*1200mm，内壁板厚10mm，外壁板厚5mm，镜面抛光；上盖布置十二对磁控靶孔位，抽气口两侧排布两列八支弧源，门上两个观察窗。
　　2、工件支杆2套，14mm；
　　3、内衬板2套
　　4、布气管路；
　　5、放气阀加装空气渡清器
　　三、标准件：密封圈，气路部件（二位五通电磁阀为德国进口BURKERT产品），不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
　　四、加热器：U型管状30KW（中心＋周边）
　　五、工件转盘：下转盘，20工位，自转直径180mm，带屏蔽罩。

　　六、磁控靶：12对圆柱磁控靶（24支），70*1040mm，定向溅射，直接冷却，钛靶材（可与平面靶互换）；工件架内外侧各12支，内外靶在与炉体中心连线上，炉内上盖板安装。
　　七、弧源（含电源）钛靶材100，气动引弧；直流逆变弧电源DC160A（深圳瑞菱）
　　八、质量流量计：德国BURKERT 8711型，1SLM三台，2SLM一台。
　　九、全自动电气控制系统：三菱Q系列PLC及触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按扭、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线（主要元件选用国外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　十、偏压电源：脉冲逆变PLS50KW（珠海盛普）
　　十一、中频电源：中频逆变MF40KW（珠海盛普）
　　十二、随机备件：密封圈，轴承，油封，专用工具等。